一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,它涉及混合气体预分离的方法。本发明的目的是要解决现有回收后的六氟化硫和四氟化碳混合气体相容性较好,无法进行分离和净化处理的问题。装置包括混合气体入口管、干燥器、过滤器、压缩机、风冷器、气体分离塔、液位计、称重传感器、温度传感器、液态灌装机、六氟化硫气体出口管、四氟化碳充装压缩机和四氟化碳气体出口管。方法:一、混合气体回收至分离塔;二、SF
1.一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法是按以下步骤完成的:一、混合气体回收至分离塔:首先将装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶与混合气体入口管(1)相连通,开启手动球阀C₃(27)、电磁阀V₂(26)和电动球阀DF₁(29),再开启手动球阀C₂(23)和电磁阀V₁(19),再启动-40°C制冷机组(8),再开启制冷剂进口阀D₁(8-1)和制冷剂进口阀D₂(8-2),再启动压缩机(4),再开启手动球阀C₁(17),打开装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶,使装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶出口压力控制在
0.2MPa以下,当观察到第一液位计(11)有液位时,停止六氟化硫和四氟化碳混合气体回收,停止压缩机(4)和-40°C制冷机组(8),关闭电磁阀V₁(19)、电动球阀DF₁(29)、电磁阀V₂(26)、制冷剂进口阀D₁(8-1)和制冷剂进口阀D₂(8-2),关闭装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶的阀门和手动球阀C₁(17);二、SF₆气体提纯:启动-40°C制冷机组(8),开启制冷剂进口阀D₁(8-1),对SF₆气体进行提纯20min,再停止-40°C制冷机组(8),关闭制冷剂进口阀D₁(8-1);三、CF₄气体充装:将一处于真空状态的CF₄气体钢瓶与四氟化碳气体出口管(34)相连接,确认电动球阀DF₁(29)关闭,打开手动球阀C₇(30)、电磁阀V₄(31)、手动球阀C₉(33),打开钢瓶阀门,启动四氟化碳充装压缩机(49),将第一气体分离塔(6)中的气体充入钢瓶中,当第一气体分离塔(6)中的气体压力低于0.05MPa或钢瓶中气体压力大于7.0MPa时,CF₄气体充装完成,停止四氟化碳充装压缩机(49),关闭电磁阀V₄(31)、手动球阀C₇(30)、钢瓶阀门和手动球阀C₉(33);四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡:打开手动球阀C₁₀(48),待第一气体分离塔(6)和第二气体分离塔(7)内的压力平衡后,再打开电动球阀DF₁(29),关闭手动球阀C₁₀(48);五、分离塔中SF₆气体灌装:将一处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶与六氟化硫气体出口管(16)相连接,打开手动球阀C₄(35)、电磁阀V₃(38)、手动球阀C₆(39)和钢瓶阀门,再打开手动球阀C₅(36),开启液态灌装机(15),将SF₆气体灌装到钢瓶中,当钢瓶的质量为40kg~50kg,停止液态灌装机(15),关闭手动球阀C₆(39)和钢瓶阀门,拆卸并移走钢瓶,重新更换另一个处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶进行SF₆气体灌装,灌装完成后,关闭电磁阀V₃(38)、手动球阀C₄(35)和手动球阀C₅(36);一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置包括混合气体入口管(1)、干燥器(2)、过滤器(3)、压缩机(4)、风冷器(5)、第一气体分离塔(6)、第二气体分离塔(7)、-40°C制冷机组(8)的第一热交换器(9)、-40°C制冷机组(8)的第二热交换器(10)、第一液位计(11)、第二液位计(12)、称重传感器(13)、温度传感器(14)、液态灌装机(15)、六氟化硫气体出口管(16)、四氟化碳充装压缩机(49)和四氟化碳气体出口管(34);所述的混合气体入口管(1)与手动球阀C₁(17)的入口端相连接,手动球阀C₁(17)的出口端与电磁阀V₁(19)入口端相连接,手动球阀C₁(17)与电磁阀V₁(19)之间设有第一压力表(18),电磁阀V₁(19)的出口端与稳压阀F₁(20)的一端相连接,稳压阀F₁(20)的另一端与干燥器(2)的入口端相连接,干燥器(2)的出口端与过滤器(3)的一端相连接,干燥器(2)与过滤器(3)之间设有第一压力传感器(22),过滤器(3)的另一端与手动球阀C₂(23)的一端相连接,手动球阀C₂(23)的另一端与压缩机(4)的入口端相连接,压缩机(4)的出口端与风冷器(5)的一端相连接,风冷器(5)的另一端与单向阀S₁(24)的入口端相连接,单向阀S₁(24)的出口端与电磁阀V₂(26)的入口端相连接,单向阀S₁(24)与电磁阀V₂(26)之间设有第一压控开关(25),电磁阀V₂(26)的出口端与手动球阀C₃(27)的入口端相连接;所述的第一气体分离塔(6)的下端与第二气体分离塔(7)的上端之间设有与第一气体分离塔(6)和第二气体分离塔(7)分别相连通的不锈钢管(28),在不锈钢管(28)上设有电动球阀DF₁(29);手动球阀C₃(27)的出口端分别与第一气体分离塔(6)的底端和电动球阀DF₁(29)的一端相连接;手动球阀C₁₀(48)的一端分别与第一气体分离塔(6)的底端和电动球阀DF₁(29)的一端相连接,手动球阀C₁₀(48)的另一端分别与第二气体分离塔(7)的上端和电动球阀DF₁(29)另一端相连接;第一气体分离塔(6)内设有-40°C制冷机组(8)的第一热交换器(9),第二气体分离塔(7)内设有-40°C制冷机组(8)的第二热交换器(10),-40°C制冷机组(8)的第一热交换器(9)上设有制冷剂进口阀D₁(8-1),-40°C制冷机组(8)的第二热交换器(10)上设有制冷剂进口阀D₂(8-2);所述的第一气体分离塔(6)的上端与手动球阀C₇(30)的一端相连接,手动球阀C₇(30)的另一端与电磁阀V₄(31)的入口端相连接,电磁阀V₄(31)的出口端与稳压阀F₂(32)的入口端相连接,稳压阀F₂(32)的出口端与四氟化碳充装压缩机(49)的入口端相连通,四氟化碳充装压缩机(49)的出口端与手动球阀C₉(33)的一端相连通,四氟化碳充装压缩机(49)与手动球阀C₉(33)之间设有第二压控开关(46)和第四压力表(47),手动球阀C₉(33)的另一端与四氟化碳气体出口管(34)的一端连接;所述的第二气体分离塔(7)的下端与手动球阀C₄(35)的一端相连接,手动球阀C₄(35)的另一端与手动球阀C₅(36)的一端相连接,手动球阀C₅(36)的另一端与液态灌装机(15)的入口端相连接,液态灌装机(15)的出口端与单向阀S₂(37)的入口端相连接,单向阀S₂(37)的出口端与电磁阀V₃(38)的入口端相连接,电磁阀V₃(38)的出口端与手动球阀C₆(39)的入口端相连接,电磁阀V₃(38)与手动球阀C₆(39)之间设有第三压力表(40)和第二安全阀(41),手动球阀C₆(39)的出口端与六氟化硫气体出口管(16)相连通;所述的第一气体分离塔(6)外部设有第一液位计(11),第一气体分离塔(6)的上端设有第二压力传感器(6-4),且第一气体分离塔(6)的上端与手动球阀C₈(6-1)的一端相连接,手动球阀C₈(6-1)的另一端分别与第二压力表(6-3)和第一安全阀门(6-2)相连接;所述的第二气体分离塔(7)外部设有第二液位计(12),第二气体分离塔(7)的外部底端设有称重传感器(13),第二气体分离塔(7)内下部设有温度传感器(14)。
2.根据权利要求1所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于所述的手动球阀C₁(17)的出口端和稳压阀F₂(32)的入口端分别与电磁阀V₆(42)的一端相连接,电磁阀V₆(42)的另一端与电磁阀V₅(44)的一端相连接,电磁阀V₆(42)和电磁阀V₅(44)之间设有真空压力传感器(43),电磁阀V₅(44)的另一端与真空泵(45)相连接,真空泵(45)为双级旋片式,极限真空度小于0.05Pa,流量为60m³/h。
3.根据权利要求2所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于所述的干燥器(2)为不锈钢材质,罐体壁厚6mm,容积为30L,工作压力为1.5MPa,干燥器(2)内填装5A分子筛干燥剂,干燥器(2)内置一个功率2.0kW的电加热棒(21),电加热棒(21)的最高温度不大于300°C;稳压阀F₁(20)控制干燥器(2)出口气体压力小于0.25MPa;过滤器(3)为网布式过滤器,过滤精度小于5μm。
4.根据权利要求3所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于所述的压缩机(4)为无油压缩机,入口进气压力0.05~0.25MPa,出口气体压力大于3.2MPa;第一压控开关(25)控制压缩机(4)的出口气体压力不超过3.5MPa;四氟化碳充装压缩机(49)为无油压缩机,入口进气压力0.05~0.25MPa,出口气体压力大于5.0MPa,第二压控开关(46)控制四氟化碳充装压缩机(49)的出口气体压力不超过8.0MPa。
5.根据权利要求4所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于所述的风冷器(5)的材质为铝合金,风冷器(5)的形式为管与翘片相结合,散热面积为60m²;液态灌装机(15)为活塞式,入口气体压力为0.5MPa~5.0MPa,出口增加压力大于3.5MPa,最大流量为10L/min。
6.根据权利要求5所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于所述的第一热交换器(9)为不锈钢材质的蛇形管交换器;第二热交换器(10)为不锈钢材质的蛇形管交换器;所述的-40°C制冷机组(8)的冷媒为无氟制冷剂,制冷深度为-40°C。
7.根据权利要求6所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,其特征在于所述的第一气体分离塔(6)采用多层筛网式结构,材质为不锈钢,罐体壁厚6mm,工作压力为5.0MPa,容积为120L;第二气体分离塔(7)的材质为不锈钢,罐体壁厚6mm,工作压力为5.0MPa,容积为120L;不锈钢管(28)的直径为500mm,外径为512mm;第二压力传感器(6-4)的测量范围为0MPa~5MPa,精度为±0.01MPa;第一安全阀门(6-2)的整定值为4.0MPa;温度传感器(14)的测量范围为-50~100°C,测量精度为±0.5°C。技术领域
本发明涉及混合气体预分离的方法。
背景技术
SF₆气体是重要的绝缘介质,以其优良的绝缘性能和灭弧性能被广泛应用于高压电气设备中。但在实际应用中SF₆气体在应用中也存在一些不足之处。SF₆气体属于高温室效应气体,其温室效应指数为C0₂的23900倍,被《京都议定书》列为受限制的六种温室气体之一。SF₆是分子量较大的重气体,液化温度较一般普通气体高,在压力较大、温度过低环境下,容易液化,因此不适用于高寒地区。此外SF₆气体价格昂贵,不适用于用气量大的电气设备。因此,工业中开始采用SF₆和温室效应较低的CF₄混合气体替代单一的SF₆气体作为绝缘介质,以有效地克服SF₆气体的不足。在混合气体中,SF₆占40%~50%(体积比),CF₄占50%~60%(体积比),因此可以节省50%以上的SF₆气体用量。但对于采用SF₆和CF₄混合气体作绝缘和灭弧介质的高压电气设备,仍存在设备检修、故障处理和退役时混合气体的回收处理问题,而且CF₄是低毒物质,也不能任意排放,因此回收后的SF₆和CF₄混合气体需要进行分离和净化处理,实现SF₆和CF₄气体的循环利用。但由于SF₆和CF₄都是氟化物,两种气体相容性较好,因此对于体积比近于1:1的SF₆和CF₄混合气体,很难将两种气体彻底分离,因此需要设计一套预分离装置,将两种气体进行初步分离。
发明内容
本发明的目的是要解决现有回收后的六氟化硫和四氟化碳混合气体相容性较好,无法进行分离和净化处理的问题,而提供一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法。一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置,它包括混合气体入口管、干燥器、过滤器、压缩机、风冷器、第一气体分离塔、第二气体分离塔、-40°C制冷机组的第一热交换器、-40°C制冷机组的第二热交换器、第一液位计、第二液位计、称重传感器、温度传感器、液态灌装机、六氟化硫气体出口管、四氟化碳充装压缩机和四氟化碳气体出口管;所述的混合气体入口管与手动球阀C₁的入口端相连接,手动球阀C₁的出口端与电磁阀V₁入口端相连接,手动球阀C₁与电磁阀V₁之间设有第一压力表,电磁阀V₁的出口端与稳压阀F₁的一端相连接,稳压阀F₁的另一端与干燥器的入口端相连接,干燥器的出口端与过滤器的一端相连接,干燥器与过滤器之间设有第一压力传感器,过滤器的另一端与手动球阀C₂的一端相连接,手动球阀C₂的另一端与压缩机的入口端相连接,压缩机的出口端与风冷器的一端相连接,风冷器的另一端与单向阀S₁的入口端相连接,单向阀S₁的出口端与电磁阀V₂的入口端相连接,单向阀S₁与电磁阀V₂之间设有第一压控开关,电磁阀V₂的出口端与手动球阀C₃的入口端相连接;所述的第一气体分离塔的下端与第二气体分离塔的上端之间设有与第一气体分离塔和第二气体分离塔分别相连通的不锈钢管,在不锈钢管上设有电动球阀DF₁;手动球阀C₃的出口端分别与第一气体分离塔的底端和电动球阀DF₁的一端相连接;手动球阀C₁₀的一端分别与第一气体分离塔的底端和电动球阀DF₁的一端相连接,手动球阀C₁₀的另一端分别与第二气体分离塔的上端和电动球阀DF₁另一端相连接;第一气体分离塔内设有-40°C制冷机组的第一热交换器,第二气体分离塔内设有-40°C制冷机组的第二热交换器,-40°C制冷机组的第一热交换器上设有制冷剂进口阀D₁,-40°C制冷机组的第二热交换器上设有制冷剂进口阀D₂;所述的第一气体分离塔的上端与手动球阀C₇的一端相连接,手动球阀C₇的另一端与电磁阀V₄的入口端相连接,电磁阀V₄的出口端与稳压阀F₂的入口端相连接,稳压阀F₂的出口端与四氟化碳充装压缩机的入口端相连通,四氟化碳充装压缩机的出口端与手动球阀C₉的一端相连通,四氟化碳充装压缩机与手动球阀C₉之间设有第二压控开关和第四压力表,手动球阀C₉的另一端与四氟化碳气体出口管的一端连接;所述的第二气体分离塔的下端与手动球阀C₄的一端相连接,手动球阀C₄的另一端与手动球阀C₅的一端相连接,手动球阀C₅的另一端与液态灌装机的入口端相连接,液态灌装机的出口端与单向阀S₂的入口端相连接,单向阀S₂的出口端与电磁阀V₃的入口端相连接,电磁阀V₃的出口端与手动球阀C₆的入口端相连接,电磁阀V₃与手动球阀C₆之间设有第三压力表和第二安全阀,手动球阀C₆的出口端与六氟化硫气体出口管相连通。一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法,是按以下步骤完成的:一、混合气体回收至分离塔:首先将装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶与混合气体入口管相连通,开启手动球阀C₃、电磁阀V₂和电动球阀DF₁,再开启手动球阀C₂和电磁阀V₁,再启动-40°C制冷机组,再开启制冷剂进口阀D₁和制冷剂进口阀D₂,再启动压缩机,再开启手动球阀C₁,打开装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶,使装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶出口压力控制在0.2MPa以下,当观察到第一液位计有液位时,停止六氟化硫和四氟化碳混合气体回收,停止压缩机和-40°C制冷机组,关闭电磁阀V₁、电动球阀DF₁、电磁阀V₂、制冷剂进口阀D₁和制冷剂进口阀D₂,关闭装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶的阀门和手动球阀C₁;二、SF₆气体提纯:启动-40°C制冷机组,开启制冷剂进口阀D₁,对SF₆气体进行提纯20min,再停止-40°C制冷机组,关闭制冷剂进口阀D₁;三、CF₄气体充装:将一处于真空状态的CF₄气体钢瓶与四氟化碳气体出口管相连接,确认电动球阀DF₁关闭,打开手动球阀C₇、电磁阀V₄、手动球阀C₉,打开钢瓶阀门,启动四氟化碳充装压缩机,将第一气体分离塔中的气体充入钢瓶中,当第一气体分离塔中的气体压力低于0.05MPa或钢瓶中气体压力大于7.0MPa时,CF₄气体充装完成,停止四氟化碳充装压缩机,关闭电磁阀V₄、手动球阀C₇、钢瓶阀门和手动球阀C₉;四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡:打开手动球阀C₁₀,待第一气体分离塔和第二气体分离塔内的压力平衡后,再打开电动球阀DF₁,关闭手动球阀C₁₀;五、分离塔中SF₆气体灌装:将一处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶与六氟化硫气体出口管相连接,打开手动球阀C₄、电磁阀V₃、手动球阀C₆和钢瓶阀门,再打开手动球阀C₅,开启液态灌装机,将SF₆气体灌装到钢瓶中,当钢瓶的质量为40kg~50kg,停止液态灌装机,关闭手动球阀C₆和钢瓶阀门,拆卸并移走钢瓶,重新更换另一个处于处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶进行SF₆气体灌装,灌装完成后,关闭电磁阀V₃、手动球阀C₄和手动球阀C₅。本发明的优点:本发明提供了一种SF₆和CF₄混合气体的预分离装置,可以对以SF₆和CF₄混合气体为绝缘和灭弧介质的运行高压电气设备中的气体进行回收和分离;本发明分离后的SF₆气体中CF₄含量小于1%(m/m),可以直接回用于以SF₆和CF₄混合气体做介质的电气设备中,以减少SF₆气体的排放量,达到环保节能的目标;本发明装置结构合理,气体净化处理效率高,安全性高,实用性强,具有较广泛的推广价值。本发明可获得一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置。
附图说明
图1为具体实施方式一所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置的结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一:结合图1,本实施方式是一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置,它包括混合气体入口管1、干燥器2、过滤器3、压缩机4、风冷器5、第一气体分离塔6、第二气体分离塔7、-40°C制冷机组8的第一热交换器9、-40°C制冷机组8的第二热交换器10、第一液位计11、第二液位计12、称重传感器13、温度传感器14、液态灌装机15、六氟化硫气体出口管16、四氟化碳充装压缩机49和四氟化碳气体出口管34;所述的混合气体入口管1与手动球阀C₁17的入口端相连接,手动球阀C₁17的出口端与电磁阀V₁19入口端相连接,手动球阀C₁17与电磁阀V₁19之间设有第一压力表18,电磁阀V₁19的出口端与稳压阀F₁20的一端相连接,稳压阀F₁20的另一端与干燥器2的入口端相连接,干燥器2的出口端与过滤器3的一端相连接,干燥器2与过滤器3之间设有第一压力传感器22,过滤器3的另一端与手动球阀C₂23的一端相连接,手动球阀C₂23的另一端与压缩机4的入口端相连接,压缩机4的出口端与风冷器5的一端相连接,风冷器5的另一端与单向阀S₁24的入口端相连接,单向阀S₁24的出口端与电磁阀V₂26的入口端相连接,单向阀S₁24与电磁阀V₂26之间设有第一压控开关25,电磁阀V₂26的出口端与手动球阀C₃27的入口端相连接;所述的第一气体分离塔6的下端与第二气体分离塔7的上端之间设有与第一气体分离塔6和第二气体分离塔7分别相连通的不锈钢管28,在不锈钢管28上设有电动球阀DF₁29;手动球阀C₃27的出口端分别与第一气体分离塔6的底端和电动球阀DF₁29的一端相连接;手动球阀C₁₀48的一端分别与第一气体分离塔6的底端和电动球阀DF₁29的一端相连接,手动球阀C₁₀48的另一端分别与第二气体分离塔7的上端和电动球阀DF₁29另一端相连接;第一气体分离塔6内设有-40°C制冷机组8的第一热交换器9,第二气体分离塔7内设有-40°C制冷机组8的第二热交换器10,-40°C制冷机组8的第一热交换器9上设有制冷剂进口阀D₁8-1,-40°C制冷机组8的第二热交换器10上设有制冷剂进口阀D₂8-2;所述的第一气体分离塔6的上端与手动球阀C₇30的一端相连接,手动球阀C₇30的另一端与电磁阀V₄31的入口端相连接,电磁阀V₄31的出口端与稳压阀F₂32的入口端相连接,稳压阀F₂32的出口端与四氟化碳充装压缩机49的入口端相连通,四氟化碳充装压缩机49的出口端与手动球阀C₉33的一端相连通,四氟化碳充装压缩机49与手动球阀C₉33之间设有第二压控开关46和第四压力表47,手动球阀C₉33的另一端与四氟化碳气体出口管34的一端连接;所述的第二气体分离塔7的下端与手动球阀C₄35的一端相连接,手动球阀C₄35的另一端与手动球阀C₅36的一端相连接,手动球阀C₅36的另一端与液态灌装机15的入口端相连接,液态灌装机15的出口端与单向阀S₂37的入口端相连接,单向阀S₂37的出口端与电磁阀V₃38的入口端相连接,电磁阀V₃38的出口端与手动球阀C₆39的入口端相连接,电磁阀V₃38与手动球阀C₆39之间设有第三压力表40和第二安全阀41,手动球阀C₆39的出口端与六氟化硫气体出口管16相连通。图1为具体实施方式一所述的一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置的结构示意图,图1中1为混合气体入口管,2为干燥器,3为过滤器,4为压缩机,5为风冷器,6为第一气体分离塔,7为第二气体分离塔,8为-40°C制冷机组,9为第一热交换器,10为第二热交换器,11为第一液位计,12为第二液位计,13为称重传感器,14为温度传感器,15为液态灌装机,16为六氟化硫气体出口管,17为手动球阀C₁,18为第一压力表,19为电磁阀V₁,20为稳压阀F₁,21为电加热棒,22为第一压力传感器,23为手动球阀C₂,24为单向阀S₁,25为第一压控开关,26为电磁阀V₂,27为手动球阀C₃,28为不锈钢管,29为电动球阀DF₁,30为手动球阀C₇,31为电磁阀V₄,32为稳压阀F₂,33为手动球阀C₉,34为四氟化碳气体出口管,35为手动球阀C₄,36为手动球阀C₅,37为单向阀S₂,38为电磁阀V₃,39为手动球阀C₆,40为第三压力表,41为第二安全阀,42为电磁阀V₆,43为真空压力传感器,44为电磁阀V₅,45为真空泵,46为第二压控开关,47为第四压力表,48为手动球阀C₁₀,49为四氟化碳充装压缩机,6-1为手动球阀C₈,6-2为第一安全阀门,6-3为第二压力表,6-4为第二压力传感器,8-1为制冷剂进口阀D₁,8-2为制冷剂进口阀D₂;本实施方式中手动球阀:用于气体流量的调节和气体流路的打开或截止;电磁阀:用于气体流路的打开或截止;稳压阀:用于气体的压力控制;单向阀:用于气体的单向控制。本实施方式的优点:本实施方式提供了一种SF₆和CF₄混合气体的预分离装置,可以对以SF₆和CF₄混合气体为绝缘和灭弧介质的运行高压电气设备中的气体进行回收和分离;本实施方式分离后的SF₆气体中CF₄含量小于1%(m/m),可以直接回用于以SF₆和CF₄混合气体做介质的电气设备中,以减少SF₆气体的排放量,达到环保节能的目标;本实施方式装置结构合理,气体净化处理效率高,安全性高,实用性强,具有较广泛的推广价值。本实施方式可获得一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置。具体实施方式二:本实施方式与具体实施方式一的不同点在于:所述的第一气体分离塔6外部设有第一液位计11,第一气体分离塔6的上端设有第二压力传感器6-4,且第一气体分离塔6的上端与手动球阀C₈6-1的一端相连接,手动球阀C₈6-1的另一端分别与第二压力表6-3和第一安全阀门6-2相连接。其它与具体实施方式一相同。第二压力传感器6-4的测量范围为0MPa~5.0MPa,精度为±0.01MPa,第一安全阀门6-2的整定值为4.0MPa。第二压力传感器6-4用来监测第一气体分离塔6内的气体压力,第一安全阀门6-2用于第一气体分离塔6内气体超压时的紧急泄压;第一液位计11用于观测第一气体分离塔6内液体液位高度。具体实施方式三:本实施方式与具体实施方式一或二之一的不同点在于:所述的第二气体分离塔7外部设有第二液位计12,第二气体分离塔7的外部底端设有称重传感器13,第二气体分离塔7内下部设有温度传感器14。其它与具体实施方式一或二相同。温度传感器14的测量范围为-50°C~100°C,精度为±0.5°C,用于监测塔内气体温度;第二液位计12用于观测第二气体分离塔7内液体液位高度。具体实施方式四:本实施方式与具体实施方式一至三之一的不同点在于:所述的手动球阀C₁17的出口端和稳压阀F₂32的入口端分别与电磁阀V₆42的一端相连接,电磁阀V₆42的另一端与电磁阀V₅44的一端相连接,电磁阀V₆42和电磁阀V₅44之间设有真空压力传感器43,电磁阀V₅44的另一端与真空泵45相连接,真空泵45为双级旋片式,极限真空度小于0.05Pa,流量为60m³/h。其它与具体实施方式一至三相同。真空泵45用于对钢瓶和装置内系统抽真空。具体实施方式五:本实施方式与具体实施方式一至四之一的不同点在于:所述的干燥器2为不锈钢材质,罐体壁厚6mm,容积为30L,工作压力为1.5MPa,干燥器2内填装5A分子筛干燥剂,干燥器2内置一个功率2.0kW的电加热棒21,电加热棒21的最高温度不大于300°C;稳压阀F₁20控制干燥器2出口气体压力小于0.25MPa;过滤器3为网布式过滤器,过滤精度小于5μm。其它与具体实施方式一至四相同。干燥器2内填装5A分子筛干燥剂,用以吸附去除混合气体中的水汽;干燥器2内置一个功率2.0kW的电加热棒21,对干燥器2进行加热,并通过抽真空将吸附剂中的水分抽出,使其得以再生,恢复吸附干燥能力;过滤器3防止破碎后的干燥剂微粒进入后面的系统中。具体实施方式六:本实施方式与具体实施方式一至五之一的不同点在于:所述的压缩机4为无油压缩机,入口进气压力0.05~0.25MPa,出口气体压力大于3.2MPa;第一压控开关25控制压缩机4的出口气体压力不超过3.5MPa;四氟化碳充装压缩机49为无油压缩机,入口进气压力0.05~0.25MPa,出口气体压力大于5.0MPa,第二压控开关46控制四氟化碳充装压缩机49的出口气体压力不超过8.0MPa。其它与具体实施方式一至五相同。具体实施方式七:本实施方式与具体实施方式一至六之一的不同点在于:所述的风冷器5的材质为铝合金,风冷器5的形式为管与翘片相结合,散热面积为60m²;液态灌装机15为活塞式,入口气体压力为0.5MPa~5.0MPa,出口增加压力大于3.5MPa,最大流量为10L/min。其它与具体实施方式一至六相同。风冷器5将压缩机出口气体中的热量强制带走。具体实施方式八:本实施方式与具体实施方式一至七之一的不同点在于:所述的第一热交换器9为不锈钢材质的蛇形管交换器;第二热交换器10为不锈钢材质的蛇形管交换器;所述的-40°C制冷机组8的冷媒为无氟制冷剂,制冷深度为-40°C。其它与具体实施方式一至七相同。第一热交换器9和第二热交换器10对气体进行深度降温,促进气体的液化(固化)和分离。具体实施方式九:本实施方式与具体实施方式一至八之一的不同点在于:所述的第一气体分离塔6采用多层筛网式结构,材质为不锈钢,罐体壁厚6mm,工作压力为5.0MPa,容积为120L;第二气体分离塔7的材质为不锈钢,罐体壁厚6mm,工作压力为5.0MPa,容积为120L;不锈钢管28的直径为500mm,外径为512mm;第二压力传感器6-4的测量范围为0MPa~5MPa,精度为±0.01MPa;第一安全阀门6-2的整定值为4.0MPa;温度传感器14的测量范围为-50~100°C,测量精度为±0.5°C。其它与具体实施方式一至八相同。第一气体分离塔6采用多层筛网式结构,增加气体接触面积,促进SF₆气体分子的结合和液化,从而与CF₄分离。具体实施方式十:本实施方式是一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法是按以下步骤完成的:一、混合气体回收至分离塔:首先将装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶与混合气体入口管1相连通,开启手动球阀C₃27、电磁阀V₂26和电动球阀DF₁29,再开启手动球阀C₂23和电磁阀V₁19,再启动-40°C制冷机组8,再开启制冷剂进口阀D₁8-1和制冷剂进口阀D₂8-2,再启动压缩机4,再开启手动球阀C₁17,打开装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶,使装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶出口压力控制在0.2MPa以下,当观察到第一液位计11有液位时,停止六氟化硫和四氟化碳混合气体回收,停止压缩机4和-40°C制冷机组8,关闭电磁阀V₁19、电动球阀DF₁29、电磁阀V₂26、制冷剂进口阀D₁8-1和制冷剂进口阀D₂8-2,关闭装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶的阀门和手动球阀C₁17;二、SF₆气体提纯:启动-40°C制冷机组8,开启制冷剂进口阀D₁8-1,对SF₆气体进行提纯20min,再停止-40°C制冷机组8,关闭制冷剂进口阀D₁8-1;三、CF₄气体充装:将一处于真空状态的CF₄气体钢瓶与四氟化碳气体出口管34相连接,确认电动球阀DF₁29关闭,打开手动球阀C₇30、电磁阀V₄31、手动球阀C₉33,打开钢瓶阀门,启动四氟化碳充装压缩机49,将第一气体分离塔6中的气体充入钢瓶中,当第一气体分离塔6中的气体压力低于0.05MPa或钢瓶中气体压力大于7.0MPa时,CF₄气体充装完成,停止四氟化碳充装压缩机49,关闭电磁阀V₄31、手动球阀C₇30、钢瓶阀门和手动球阀C₉33;四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡:打开手动球阀C₁₀48,待第一气体分离塔6和第二气体分离塔7内的压力平衡后,再打开电动球阀DF₁29,关闭手动球阀C₁₀48;五、分离塔中SF₆气体灌装:将一处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶与六氟化硫气体出口管16相连接,打开手动球阀C₄35、电磁阀V₃38、手动球阀C₆39和钢瓶阀门,再打开手动球阀C₅36,开启液态灌装机15,将SF₆气体灌装到钢瓶中,当钢瓶的质量为40kg~50kg,停止液态灌装机15,关闭手动球阀C₆39和钢瓶阀门,拆卸并移走钢瓶,重新更换另一个处于处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶进行SF₆气体灌装,灌装完成后,关闭电磁阀V₃38、手动球阀C₄35和手动球阀C₅36。本实施方式的优点:本实施方式提供了一种SF₆和CF₄混合气体的预分离装置,可以对以SF₆和CF₄混合气体为绝缘和灭弧介质的运行高压电气设备中的气体进行回收和分离;本实施方式分离后的SF₆气体中CF₄含量小于1%(m/m),可以直接回用于以SF₆和CF₄混合气体做介质的电气设备中,以减少SF₆气体的排放量,达到环保节能的目标;本实施方式装置结构合理,气体净化处理效率高,安全性高,实用性强,具有较广泛的推广价值。采用以下试验验证本发明的有益效果:试验一:一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置,它包括混合气体入口管1、干燥器2、过滤器3、压缩机4、风冷器5、第一气体分离塔6、第二气体分离塔7、-40°C制冷机组8的第一热交换器9、-40°C制冷机组8的第二热交换器10、第一液位计11、第二液位计12、称重传感器13、温度传感器14、液态灌装机15、六氟化硫气体出口管16、四氟化碳充装压缩机49和四氟化碳气体出口管34;所述的混合气体入口管1与手动球阀C₁17的入口端相连接,手动球阀C₁17的出口端与电磁阀V₁19入口端相连接,手动球阀C₁17与电磁阀V₁19之间设有第一压力表18,电磁阀V₁19的出口端与稳压阀F₁20的一端相连接,稳压阀F₁20的另一端与干燥器2的入口端相连接,干燥器2的出口端与过滤器3的一端相连接,干燥器2与过滤器3之间设有第一压力传感器22,过滤器3的另一端与手动球阀C₂23的一端相连接,手动球阀C₂23的另一端与压缩机4的入口端相连接,压缩机4的出口端与风冷器5的一端相连接,风冷器5的另一端与单向阀S₁24的入口端相连接,单向阀S₁24的出口端与电磁阀V₂26的入口端相连接,单向阀S₁24与电磁阀V₂26之间设有第一压控开关25,电磁阀V₂26的出口端与手动球阀C₃27的入口端相连接;所述的第一气体分离塔6的下端与第二气体分离塔7的上端之间设有与第一气体分离塔6和第二气体分离塔7分别相连通的不锈钢管28,在不锈钢管28上设有电动球阀DF₁29;手动球阀C₃27的出口端分别与第一气体分离塔6的底端和电动球阀DF₁29的一端相连接;手动球阀C₁₀48的一端分别与第一气体分离塔6的底端和电动球阀DF₁29的一端相连接,手动球阀C₁₀48的另一端分别与第二气体分离塔7的上端和电动球阀DF₁29另一端相连接;第一气体分离塔6内设有-40°C制冷机组8的第一热交换器9,第二气体分离塔7内设有-40°C制冷机组8的第二热交换器10,-40°C制冷机组8的第一热交换器9上设有制冷剂进口阀D₁8-1,-40°C制冷机组8的第二热交换器10上设有制冷剂进口阀D₂8-2;所述的第一气体分离塔6的上端与手动球阀C₇30的一端相连接,手动球阀C₇30的另一端与电磁阀V₄31的入口端相连接,电磁阀V₄31的出口端与稳压阀F₂32的入口端相连接,稳压阀F₂32的出口端与四氟化碳充装压缩机49的入口端相连通,四氟化碳充装压缩机49的出口端与手动球阀C₉33的一端相连通,四氟化碳充装压缩机49与手动球阀C₉33之间设有第二压控开关46和第四压力表47,手动球阀C₉33的另一端与四氟化碳气体出口管34的一端连接;所述的第二气体分离塔7的下端与手动球阀C₄35的一端相连接,手动球阀C₄35的另一端与手动球阀C₅36的一端相连接,手动球阀C₅36的另一端与液态灌装机15的入口端相连接,液态灌装机15的出口端与单向阀S₂37的入口端相连接,单向阀S₂37的出口端与电磁阀V₃38的入口端相连接,电磁阀V₃38的出口端与手动球阀C₆39的入口端相连接,电磁阀V₃38与手动球阀C₆39之间设有第三压力表40和第二安全阀41,手动球阀C₆39的出口端与六氟化硫气体出口管16相连通。所述的第一气体分离塔6外部设有第一液位计11,第一气体分离塔6的上端设有第二压力传感器6-4,且第一气体分离塔6的上端与手动球阀C₈6-1的一端相连接,手动球阀C₈6-1的另一端分别与第二压力表6-3和第一安全阀门6-2相连接。所述的第二气体分离塔7外部设有第二液位计12,第二气体分离塔7的外部底端设有称重传感器13,第二气体分离塔7内下部设有温度传感器14。所述的手动球阀C₁17的出口端和稳压阀F₂32的入口端分别与电磁阀V₆42的一端相连接,电磁阀V₆42的另一端与电磁阀V₅44的一端相连接,电磁阀V₆42和电磁阀V₅44之间设有真空压力传感器43,电磁阀V₅44的另一端与真空泵45相连接,真空泵45为双级旋片式,极限真空度小于0.05Pa,流量为60m³/h。使用一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置预分离六氟化硫和四氟化碳混合气体的方法,是按以下步骤完成的:一、混合气体回收至分离塔:首先将装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶与混合气体入口管1相连通,开启手动球阀C₃27、电磁阀V₂26和电动球阀DF₁29,再开启手动球阀C₂23和电磁阀V₁19,再启动-40°C制冷机组8,再开启制冷剂进口阀D₁8-1和制冷剂进口阀D₂8-2,再启动压缩机4,再开启手动球阀C₁17,打开装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶,使装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶出口压力控制在0.15MPa,当观察到第一液位计11有液位时,停止六氟化硫和四氟化碳混合气体回收,停止压缩机4和-40°C制冷机组8,关闭电磁阀V₁19、电动球阀DF₁29、电磁阀V₂26、制冷剂进口阀D₁8-1和制冷剂进口阀D₂8-2,关闭装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶的阀门和手动球阀C₁17;二、SF₆气体提纯:启动-40°C制冷机组8,开启制冷剂进口阀D₁8-1,对SF₆气体进行提纯20min,再停止-40°C制冷机组8,关闭制冷剂进口阀D₁8-1;三、CF₄气体充装:将一处于真空状态的CF₄气体钢瓶与四氟化碳气体出口管34相连接,确认电动球阀DF₁29关闭,打开手动球阀C₇30、电磁阀V₄31、手动球阀C₉33,打开钢瓶阀门,启动四氟化碳充装压缩机49,将第一气体分离塔6中的气体充入钢瓶中,当第一气体分离塔6中的气体压力为0.04MPa时,CF₄气体充装完成,停止四氟化碳充装压缩机49,关闭电磁阀V₄31、手动球阀C₇30、钢瓶阀门和手动球阀C₉33;四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡:打开手动球阀C₁₀48,待第一气体分离塔6和第二气体分离塔7内的压力平衡后,再打开电动球阀DF₁29,关闭手动球阀C₁₀48;五、分离塔中SF₆气体灌装:将一处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶与六氟化硫气体出口管16相连接,打开手动球阀C₄35、电磁阀V₃38、手动球阀C₆39和钢瓶阀门,再打开手动球阀C₅36,开启液态灌装机15,将SF₆气体灌装到钢瓶中,当钢瓶的质量为45kg,停止液态灌装机15,关闭手动球阀C₆39和钢瓶阀门,拆卸并移走钢瓶,重新更换另一个处于处于真空状态的40LSF₆气体钢瓶进行SF₆气体灌装,灌装完成后,关闭电磁阀V₃38、手动球阀C₄35和手动球阀C₅36。所述的干燥器2为不锈钢材质,罐体壁厚6mm,容积为30L,工作压力为1.5MPa,干燥器2内填装5A分子筛干燥剂,干燥器2内置一个功率2.0kW的电加热棒21,电加热棒21的最高温度为250°C;稳压阀F₁20控制干燥器2出口气体压力为0.2MPa;过滤器3为网布式过滤器,过滤精度为3μm。所述的压缩机4为无油压缩机,入口进气压力为0.2MPa,出口气体压力为4MPa;第一压控开关25控制压缩机4的出口气体压力为3MPa;四氟化碳充装压缩机49为无油压缩机,入口进气压力为0.2MPa,出口气体压力为6MPa,第二压控开关46控制四氟化碳充装压缩机49的出口气体压力为7.0MPa。所述的风冷器5的材质为铝合金,风冷器5的形式为管与翘片相结合,散热面积为60m²;液态灌装机15为活塞式,入口气体压力为3MPa,出口增加压力为4MPa,最大流量为10L/min。所述的第一热交换器9为不锈钢材质的蛇形管交换器;第二热交换器10为不锈钢材质的蛇形管交换器;所述的-40°C制冷机组8的冷媒为无氟制冷剂,制冷深度为-40°C。所述的第一气体分离塔6采用多层筛网式结构,材质为不锈钢,罐体壁厚6mm,工作压力为5.0MPa,容积为120L;第二气体分离塔7的材质为不锈钢,罐体壁厚6mm,工作压力为5.0MPa,容积为120L;不锈钢管28的直径为500mm,外径为512mm;第二压力传感器6-4的测量范围为0MPa~5MPa,精度为±0.01MPa;第一安全阀门6-2的整定值为4.0MPa;温度传感器14的测量范围为-50~100°C,测量精度为±0.5°C。本试验提供了一种SF₆和CF₄混合气体的预分离装置,可以对以SF₆和CF₄混合气体为绝缘和灭弧介质的运行高压电气设备中的气体进行回收和分离;本试验分离后的SF₆气体中CF₄含量为0.08%(m/m),可以直接回用于以SF₆和CF₄混合气体做介质的电气设备中,以减少SF₆气体的排放量,达到环保节能的目标;本实施方式装置结构合理,气体净化处理效率高,安全性高,实用性强,具有较广泛的推广价值。